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物镜是光刻机的核心系统之一,物镜之中有40多组镜片,厚度大小角度各不相同,需要万分精准才行!
相当于是一个复杂了百万倍的常规光学镜头!
说白了,在光刻机进行光刻的过程之中,物镜起到的作用就是把之前电脑面绘制的电路图,以数万倍的比例缩小,然后再用激光以纳米级别投射到硅片!
物镜是设计组装难度最大的一步,因为物镜对于精度的要求非常之高!
一般来说,物镜都是要借助高度精密的仪器,一边测量角度,一边组装的。
所以秦风的徒手装镜片,让在场的所有人都是有些吃惊!
秦风的这套番操作,完全颠覆了众人之前对于光刻机组装的认知。
“秦风,这物镜,不是得用精准仪器变测量边组装吗?”
电科45所的王教授整个人都有些懵逼了,看着已经是开始组装第二片镜面的秦风,呆呆的问道:“这么直接装,镜片角度的问题怎么处理?我……我有点没能看懂。”
陈教授还有剩下的众人,也没见过这么组装物镜的。
一套常规24组镜片的物镜,用精密机器进行组装的话,至少要一个月的时间,才能保证镜片把激光投射到硅片的时候,不会产生超出10纳米的偏差!
就这,还要进行很长的后续调整!
但是秦风,这伸手就直接开始组装起来镜片了??
“这个……怎么说呢,”
秦风继续埋头组装着镜片,说道:“都是看手感。”
什么?
都是看手感?
众人听到秦风的这番话,眼睛都是瞪大了。
这物镜的组装,可是要精准到nm级别的,结果秦风来了句看手感?
秦风的手难不成还能对精准的把控纳米级别精度?
这根本不可能!
听到秦风的这番解释,众人先是一愣,然后都是不由的相视一笑。
在他们看来,秦风显然是在开玩笑。
但是事实。
秦风真的没有开玩笑,秦风说的,是真的。
秦风的双手,真的能完成nm级别的物镜镜片组装。
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